产品介绍

自成立以来，我们用汗水和智慧，在全球谱写光驰的荣誉华章和守正致远的时代传奇！

我们的产品

A1000PC是面向于工业化大规模生产的原子层沉积系统，低温镀膜设计可以在各种3维基板上沉积高质量光学薄膜。

A800LS的小型化布局设计使得维护等操作在灰区进行，节省了洁净间占地面积。相应的维护操作更简便，消耗品使用更少，满足工业化所需的高重复性和高可靠性镀膜。

光驰A800TBS原子层沉积系统是专业应用于晶圆级光学领域的工业化批量式ALD，例如：光栅间隙填充，三维表面修饰，器件封装和沉积增透减反膜。

应用于Mini/Micro LED, OLED, Power Device, VCSEL, Wafer Optics

A800DAC是满足先进制程、拥有完整Cluster系统的原子层沉积镀膜设备。可制备满足功率器件、Micro-OLED、先进封装等半导体或泛半导体市场要求的高绝缘、优阻隔、低杂质的钝化和/或封装等多种先进薄膜应用。