A800LS的小型化布局设计使得维护等操作在灰区进行，节省了洁净间占地面积。相应的维护操作更简便，消耗品使用更少，满足工业化所需的高重复性和高可靠性镀膜。
A800LS的小型化布局设计使得维护等操作在灰区进行，节省了洁净间占地面积。相应的维护操作更简便，消耗品使用更少，满足工业化所需的高重复性和高可靠性镀膜。
为LED产业而生的工业化设计，并兼容多种尺寸晶圆
与工业4.0配套的先进PLC控制系统
高准确性工艺控制
更短的ALD循环时间以及更少的前驱体源消耗量
更高的产量，更低的生产消耗
更优的薄膜均匀性和重复性
4/6寸标准晶圆可装载多达150/50片
70℃ – 300℃
Al2O3薄膜：铝源、水源位置标准配置，可选配臭氧等前驱体源
超大装片量，镀膜时间短
优于1.0%的薄膜均匀性(1σ, 5mmEE).
极具竞争力的设备性能和薄膜均匀性.
保形覆盖率 ＞94%
连续无针孔的氧化铝阻隔薄膜，优越的水汽阻隔能够极大提升Mini-LED寿命；而且薄膜有着高击穿电压性能.
埃米级的高精度薄膜厚度可控性，高生产可靠性.
手动装片
半自动装片
全自动装片
沪公网安备31011302007876