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光驰A800TBS原子层沉积系统是专业应用于晶圆级光学领域的工业化批量式ALD，例如：光栅间隙填充，三维表面修饰，器件封装和沉积增透减反膜。
A800DAC是满足先进制程、拥有完整Cluster系统的原子层沉积镀膜设备。可制备满足功率器件、Micro-OLED、先进封装等半导体或泛半导体市场要求的高绝缘、优阻隔、低杂质的钝化和/或封装等多种先进薄膜应用。
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